日本UNION非接觸式(shi)測量工具顯微鏡
HISOMET系列工(gong)具顯微鏡為一專業X、Y、Z軸座標測量(liang)顯微鏡,X、Y工(gong)作臺行(xing)程由50×50mm到大行(xing)程500×500mm,放(fang)大倍數(shu)由5×至1000×。為求(qiu)提高(gao)(gao)工(gong)件在Z軸深度(du)/高(gao)(gao)度(du)測量(liang)時的(de)精度(du),Z軸對焦采用一磚(zhuan)利光學“裂(lie)像(xiang)指示器(qi)”,結合精密的(de)Z軸“Cross Roller Bearing”導(dao)軌(gui),可測范圍25 mm,精度(du)高(gao)(gao)達(da)1μm,配(pei)合特殊(shu)附件,測量(liang)分解度(du)更可達(da)0.5μm或0.1μm。
非接觸式(shi)測(ce)量顯微鏡
對焦(jiao)清楚后如下圖:
應用實例:
技術(shu)規(gui)格:
型 號
|
DH II
|
工作臺行程mm
|
50×50
|
100×100
|
100×200
|
150×150
|
150×300
|
300×300
|
500×500
|
Z軸測量范圍
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
25mm
|
X、Y、Z軸數顯分解度
|
0.001mm
|
Z軸讀數裝置
|
內置數顯表/外置數據處理系統
|
反射照明系統
|
內置LED/外置冷光源
|
標準目鏡
|
NWF10X
|
標準物鏡(W.D.12mm)
|
PLM10X
|
讀數系統
|
簡易座標讀數器
|
多功能數據處理器
|
測量軟件電腦系統
|
選購物鏡
|
PLM3X(W.D.8.5mm), PLM5X(W.D.19mm),
PLLWDM20X (W.D.11.2mm), PLLWDM40X(W.D.10mm),
SPLM50X (W.D.1.5mm), PLLWDM100X (W.D.5.0mm),
SPLM100X(W.D.1.0mm)
|